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本裝置系統(tǒng)自高溫爐后出口閥門起（無油真空泵開啟點(diǎn)由高溫爐控制啟停）：

A，回收氣自干式真空泵后開始，接雙聯(lián)脈沖過濾器后在氧分儀監(jiān)控下選擇放空或啟動(dòng)回收氣收集。

B，增壓系統(tǒng)工作：真空泵后排放氣體經(jīng)氧分析儀監(jiān)控后選擇運(yùn)行動(dòng)作，啟動(dòng)回收程序，開啟氣動(dòng)閥進(jìn)入壓縮機(jī)前緩沖罐，在壓力傳感器作用下全自動(dòng)運(yùn)行，完成系統(tǒng)管道吹掃，在設(shè)定數(shù)據(jù)范圍內(nèi)自動(dòng)運(yùn)行，經(jīng)初級(jí)過濾粉塵、精密二級(jí)過濾，冷卻干燥脫水，除氧劑除氧、干燥純化設(shè)備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質(zhì)，得到相對純度極高的氬氣，*后經(jīng)貴金屬精密過濾器送至工作點(diǎn)使用。

     回收氣中氧含量小于200ppm，含有微量一氧化碳和碳?xì)浠衔?，或帶有高溫下產(chǎn)生有機(jī)化合物等，含有3um以下顆粒物，

回收要求：回收后配純化設(shè)備除去氬氣中氧，一氧化碳，二氧化碳，碳?xì)浠衔?，有機(jī)氣體等雜質(zhì)，配雙聯(lián)脈沖過濾器過濾顆粒并收集。

回收裝置組成：

1，從源頭上控制：在真空泵后配置雙聯(lián)脈沖過濾器過濾顆粒物并收集，使其進(jìn)回收系統(tǒng)氣體的顆粒物殘留小于0.1um，減少在系統(tǒng)運(yùn)行中造成堵塞風(fēng)險(xiǎn)。

2，回收源頭設(shè)微量氧分析儀，監(jiān)測回收氣源中氧含量，按自編程序(含氧量0-1000ppm可選)運(yùn)行，放空或回收（放空閥門開啟后有聲光報(bào)警）。

3，回收純化設(shè)備：采用多級(jí)純化方式，分段處理，層層分離，使其**限度地滿足高純氣需求。

4，回收系統(tǒng)和純化設(shè)備以整體撬裝機(jī)柜式提供，以一套自動(dòng)控制系統(tǒng)集成控制，整體系統(tǒng)合成在一套移動(dòng)式機(jī)柜內(nèi)，真空泵電源開關(guān)由高溫爐控制。整體設(shè)備有聯(lián)鎖互鎖功能，數(shù)據(jù)輸出端有485接口，聯(lián)機(jī)可完成數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳，遠(yuǎn)程控制。供方提供總控制面板一塊，可鑲嵌至總控制臺(tái)完成整套設(shè)備的所以控制。

6，整體回收設(shè)備以封閉式機(jī)柜提供，外觀電腦灰烤漆，移動(dòng)式腳輪設(shè)計(jì)（外加固定承壓支柱），外觀電腦灰烤漆, 獨(dú)立操縱面，美觀協(xié)調(diào)，整體占地面積約2m（寬）x2（深）x2m（高）（具體尺寸以實(shí)物為準(zhǔn)）