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BPS 1.25 技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 固態(tài)源版本 | 磁控管版本 |
長*寬*高 (輻射模塊) | 490mm*390mm*128mm | 490mm*390mm*128mm |
腔體體積 | 106L | 106L |
輸出功率 | 1.0kW | 1.25kW |
輸出頻率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
頻率誤差 | ±50ppm | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
供電電壓 | AC380V±10% | AC380V±10% |
供電頻率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
進(jìn)/出水口 | 1/8寶塔接頭 | DN15 |
冷卻方式 | 電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C） 輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷 | 電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C） 輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷 |
控制接口 | RS485通信協(xié)議 | 具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1 |
工藝氣體 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
BPS 3.0技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 固態(tài)源版本 | 磁控管版本 |
長*寬*高 (輻射模塊) | 490mm*390mm*128mm | 490mm*390mm*128mm |
腔體體積 | 106L | 106L |
輸出功率 | 3kW | 3kW |
輸出頻率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
頻率誤差 | ±50ppm | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
供電電壓 | AC380V±10% | AC380V±10% |
供電頻率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
進(jìn)/出水口 | 1/8寶塔接頭 | DN15 |
冷卻方式 | 電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C） 輻射模塊: 水冷 | 電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C） 輻射模塊: 水冷 |
控制接口 | RS485通信協(xié)議 | 具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1 |
工藝氣體 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
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