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設(shè)備應(yīng)用

本機(jī)適用于直徑 100mm及以下尺寸的硅片、鍺片、砷化鎵、鈮酸鋰等片狀材料的單面高精度拋光加工。

設(shè)備特點(diǎn)

主拋光盤(pán)采用變頻器配合三相異步電機(jī)拖動(dòng)，調(diào)速平緩、低速穩(wěn)定性好，可實(shí)現(xiàn)緩啟動(dòng)與緩?fù)Ｖ?/p>

采用 PLC 可編程控制器控制，人機(jī)界面顯示并可進(jìn)行設(shè)置相關(guān)運(yùn)行及工藝參數(shù)，控制先進(jìn)可靠

本機(jī)四個(gè)拋光頭分別采用低摩擦系列氣缸，并采用精密減壓閥調(diào)控，壓力控制精確穩(wěn)定
上拋光頭采用四段壓力控制方式，*小加壓可控制在 15KG 以內(nèi)，滿足了精拋工藝的要求，壓力采用四段加壓方式，即輕-中-重-輕壓力過(guò)程

主機(jī)上部采用推拉式防護(hù)罩防護(hù)，上箱體留有抽風(fēng)口，保證了內(nèi)外部環(huán)境的清潔

設(shè)備參數(shù)

◆拋光盤(pán)直徑：φ815mm
◆粘片盤(pán)直徑規(guī)格：（外徑×厚度）305mm×20mm
下盤(pán)轉(zhuǎn)速：0-80rpm
上拋光頭氣缸行程：φ80mm×180 mm（4 頭）
主電機(jī)：YA132M-4-B3 7.5Kw 380V 1460rpm
電源要求：三相五線制交流電源：3φ380V±38V 50Hz±5Hz 電纜規(guī)格要求：線徑大于 2.5mm2
氣源要求：氣源壓力：0.5MPa 空氣消耗量：45NL/次 接口規(guī)格：外徑φ10 的快插接頭
冷卻水：冷卻水水壓力：0.2Mpa 冷卻水水消耗量：15L/min 接口規(guī)格：外徑φ12 的快插接頭
拋光用水：去離子水壓力：0.2Mpa 去離子消耗量：10L/min 接口規(guī)格：外徑φ12 的不銹鋼快插接頭
拋光晶片厚度：0.20-3mm
承片量：?jiǎn)伪P(pán) 5 片 (4〃) 8 片(3〃)
             4 盤(pán) 20 片 (4〃) 32 片(3〃)
外形尺寸：1080 mm ×1810 mm ×2350mm
重量：約 1800Kg