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            12寸邊緣刻蝕機
            12寸邊緣刻蝕機

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            12寸邊緣刻蝕機

            品牌

            天津南軒

            產(chǎn)地

            天津

            樣本

            暫無
            南軒(天津)科技有限公司

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            12寸邊緣刻蝕機

            1): 適用于6-12”硅片的去邊處理; 

            2): 去邊規(guī)格0.4-1.5mm,去邊精度±0.1mm,特殊規(guī)格支持定制; 

            3): 設(shè)備包含F(xiàn)OUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR機械手,機械模組,Buffer位,刻蝕槽,水洗槽,甩干位,儲酸槽; 

            4): FOUP LoadPort各部分均可以獨立操作; 

            5): 具有兩套硅片上料線,上料WTR將硅片搬運至Pre-Aligner中定心并尋參; 

            6): 用真空吸盤吸附的方式進行硅片的搬運; 

            7): 下料WTR取走放入到下載FOUP指定Slot中; 

            8): 采用國際知名的電氣元件。 


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