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8/12寸石英管(硅片加熱)清洗機品牌
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| 適用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加熱)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量產能： (Capacity) | 根據(jù)客戶需求/Customerized |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 人工上料→爐管旋轉，藥液循環(huán)清洗→藥液排放至儲酸槽→純水清洗→氮氣吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304,槽體采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 運送方式： (Transportation) | 手動傳送 (Manual) |
| 節(jié)拍時間： (Step time) | 依工藝可調 (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他說明： | 設備可以根據(jù)客戶要求定制手動/半自動 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 適用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加熱)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量產能： (Capacity) | 根據(jù)客戶需求/Customerized |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 人工上料→爐管旋轉，藥液循環(huán)清洗→藥液排放至儲酸槽→純水清洗→氮氣吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304,槽體采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 運送方式： (Transportation) | 手動傳送 (Manual) |
| 節(jié)拍時間： (Step time) | 依工藝可調 (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他說明： | 設備可以根據(jù)客戶要求定制手動/半自動 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 適用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加熱)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量產能： (Capacity) | 根據(jù)客戶需求/Customerized |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 人工上料→爐管旋轉，藥液循環(huán)清洗→藥液排放至儲酸槽→純水清洗→氮氣吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304,槽體采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 運送方式： (Transportation) | 手動傳送 (Manual) |
| 節(jié)拍時間： (Step time) | 依工藝可調 (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他說明： | 設備可以根據(jù)客戶要求定制手動/半自動 (Customized:Semiautomatic or manual) |
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