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            全自動(dòng)清洗機(jī)
            全自動(dòng)清洗機(jī)

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            型號(hào)

            全自動(dòng)最終清洗機(jī)

            品牌

            山東聯(lián)盛

            產(chǎn)地

            山東

            樣本

            暫無
            山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司

            高級(jí)會(huì)員

            |

            第1年

            |

            生產(chǎn)商

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            主要用于硅材料拋光片*終清洗、外延片清洗工藝,去除晶圓表面顆粒及金屬離子。

            1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,長(zhǎng)期可工作在酸腐蝕環(huán)境,堅(jiān)固耐用,雙層防漏 。

            2、晶圓 Cassette.-less無片盒機(jī)械手傳輸、無片盒承載清洗系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)

            3、高效潔爭(zhēng)熱水慢拉+IR紅外干燥技術(shù)(或采用Marangnoi效應(yīng)干燥技術(shù))

            4、化學(xué)液自動(dòng)供給系統(tǒng)

            5、兆聲波循環(huán)清洗技術(shù)

            6、具有MES系統(tǒng)的信息交互、通信能力技術(shù)指標(biāo)

            (1)晶圓尺寸:8“兼容6”                        (2)處理量:50片/槽次

            (3)溶液溫度:50℃~80℃±1℃           (4)兆聲清洗:950KHz、2400W

            (5)配液精度:≤1%                              (6)顆??刂?≤20個(gè)/片@0.12μm

            (7)≤10個(gè)/片@0.16μm                     (8)金屬含量:≤1E10 atoms/cm2

            (9)生產(chǎn)效率:≥2750WPH


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