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設備特點:

1.設備的充氣組件主要包括質(zhì)量流量計、電磁閥、混氣罐，保障工藝氣體流量的精確控制，不同氣體均勻混合、安全隔離，并且可選載氣系統(tǒng)組件，用于液態(tài)氣源的使用，方便廣泛的液態(tài)碳源的個性化選用，或合成導電金剛石電極液態(tài)硼源等的安全使用。2.抽氣組件配備靜音高效旋片式真空泵，以及快速滿足高真空本底環(huán)境的渦輪分子泵系統(tǒng)。真空測量采用電阻規(guī)與電離規(guī)搭配的復合真空計，以及可大范圍測量不同工藝氣體壓力的電容薄膜規(guī)系統(tǒng)。沉積氣壓的控制采用高精度比例調(diào)節(jié)閥全自動控制。3.冷卻水組件配備多路水壓、流量、溫度的測量及軟件自動監(jiān)控，不同冷卻部件相互獨立，方便快速診斷故障，所有支路擁有獨立的閥門開關，安全高效。

4.電氣控制組件采用大尺寸人機界面液晶屏，配合PLC全自動控制，方便工藝配方編輯和導入;圖形化曲線直觀顯示各參數(shù)變化及數(shù)值設備及工藝參數(shù)自動記錄存檔，方便問題追溯及數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析。

5.工件架組件配置伺服電機控制基片臺升降，可選石墨或紫銅基片臺，溫度通過熱電偶進行測量6.機架組件根據(jù)客戶需求可整體或分體式設計，滿足客戶搬運特殊要求。

7.封板組件整體美觀大方，設備不同功能模塊區(qū)域的封板可獨立快速拆裝或打開關閉，使用十分方便,