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            連續(xù)送料出料回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2
            連續(xù)送料出料回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2

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            型號(hào)

            BTF-1200C-R-PECVD-AD2

            品牌

            貝意克

            產(chǎn)地

            安徽合肥

            樣本

            暫無(wú)
            安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

            金牌會(huì)員

            |

            第13年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            • 非金屬電熱元件:

              其他
            • 金屬電熱元件:

              鐵鉻鋁絲
            • 燒結(jié)氣氛:

              其他
            • 溫控精度:

              ±1℃
            • 最高溫度:

              1200℃
            • 額定溫度:

              ≤1000℃
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            一、設(shè)備組成

            設(shè)備組成部分包含:1)加熱系統(tǒng)2)Plasma系統(tǒng)3)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)4)爐管傾斜系統(tǒng)5)觸屏操作系統(tǒng)6)進(jìn)出料組件7)進(jìn)出氣法蘭組件8)爐管及安全保護(hù)組件 9)真空系統(tǒng)。10)場(chǎng)內(nèi)小電流裝置


            二、結(jié)構(gòu)描述

            1、加熱系統(tǒng):

            該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統(tǒng)設(shè)置有超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。溫區(qū)為單溫區(qū),溫區(qū)長(zhǎng)440mm,異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200。

            2、Plasma系統(tǒng):

            本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

            3、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):

            爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-20rpm連續(xù)可調(diào)。

            4、攪拌轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-30rpm連續(xù)可調(diào)。

            5、爐管傾斜系統(tǒng)可以大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-30°之間。

            6、觸屏操作系統(tǒng):該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運(yùn)行,所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動(dòng)運(yùn)行:可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作,可設(shè)置多工作段不同參數(shù),并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

            7、進(jìn)出料組件:進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機(jī)構(gòu)組成,出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成

            8、進(jìn)出氣法蘭組件:設(shè)備法蘭左端為進(jìn)氣端,一側(cè)配有截止閥控制的進(jìn)氣口,對(duì)接混氣罐輸出的氣體。另一側(cè)預(yù)留KF25接口。右端為出氣端,一側(cè)由球閥控制的出氣口,另一側(cè)為KF25抽口。

            9、爐管及安全保護(hù)組件:爐管為異形石英管,通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現(xiàn)真空下的回轉(zhuǎn),設(shè)備左端法蘭配有SMC安全保護(hù)組件。

            10、真空系統(tǒng):由一個(gè)PCG550真空計(jì)和一臺(tái)DRV16機(jī)械泵組成,抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制。

            11、場(chǎng)內(nèi)小電流裝置:設(shè)備左端為正極:由不銹鋼桿和導(dǎo)電片組成;右端為負(fù)極,由不銹鋼導(dǎo)電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線棒。

             

            本設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。機(jī)架采用深灰色、門板等采用時(shí)尚橘紋白。設(shè)備簡(jiǎn)約又不乏穩(wěn)重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


            三、技術(shù)參數(shù)

            額定功率

            4KW

            額定電壓

            AC220V

            **溫度

            1200℃

            使用溫度

            950-1000℃

            爐管尺寸

            異型管Φ60x100x1200mm

            爐管旋轉(zhuǎn)速率

            0~20rpm

            攪拌旋轉(zhuǎn)速率

            0~30rpm

            爐體傾斜角度

            0~35°(可調(diào))

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫精度

            ±1℃

            控溫方式

            模糊PID控制和自動(dòng)整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

            射頻功率范圍

            0-500W

            加熱長(zhǎng)度

            440mm

            恒溫長(zhǎng)度

            200mm

            加熱元件

            電阻絲

            升溫速率

            0-20℃/min,建議10℃/min


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            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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