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面議型號
BTF-1200C-R-PECVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
≤1100℃非金屬電熱元件：
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一、產(chǎn)品特色
該款設備是全自動Plasma增強PECVD系統(tǒng)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下進行實驗，PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對均勻等效，有效的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，該設備爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉料的燒結(jié)更均勻。
二、設備組成
1）加熱系統(tǒng)2）Plasma系統(tǒng)3）爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)4）觸屏操作系統(tǒng)5）進出氣法蘭組件6）爐管 7）真空系統(tǒng)。
（1）加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統(tǒng)設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區(qū)為單溫區(qū)，溫區(qū)長440mm，異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200。
（2）Plasma系統(tǒng)：
本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
（3）爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0.25-25r/min連續(xù)可調(diào)。
（4）觸屏操作系統(tǒng)：該系統(tǒng)可以讓設備在自動模式下高度自動化運行，所有參數(shù)程序設定好后自動運行：可實現(xiàn)按照設定程序連續(xù)工作，可設置多工作段不同參數(shù)，并可進行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。
（5） 進出氣法蘭組件：設備法蘭左端為進氣端，一側(cè)配有球閥控制的進氣口，另一側(cè)預留KF25接口，上部配有壓力表，左側(cè)端面為KF50接口。右端為出氣端，一側(cè)由球閥控制的出氣口，另一側(cè)為KF25抽口，上部配有真空計，右側(cè)端面為KF50接口。
（6）爐管：爐管為異形石英管，通過左右兩端磁流體密封法蘭實現(xiàn)真空下的回轉(zhuǎn)，
（7）真空系統(tǒng)：由一個電容真空計和一臺DRV16機械泵組成，抽口端由KF25手動擋板閥控制，并配有粉塵過濾器。
三、技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 4KW |
額定電壓 | AC 220V |
**溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐管尺寸 | 異型管 Φ60*100*1200mm一根 |
爐管旋轉(zhuǎn)速率 | 3~13r/min |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 模糊PID控制和自動整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
射頻功率范圍 | 0-500W |
加熱長度 | 440mm |
恒溫長度 | 200mm |
加熱元件 | 電阻絲 |
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