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            MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
            MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

            參考價(jià)格

            面議

            型號(hào)

            MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

            品牌

            鵬城微納

            產(chǎn)地

            沈陽(yáng)

            樣本

            暫無(wú)
            鵬城微納技術(shù)(沈陽(yáng))有限公司

            高級(jí)會(huì)員

            |

            第1年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            產(chǎn)品詳情

            MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

            可用于GaN、ZnO等的外延生長(zhǎng)。

            材料的輸運(yùn)采取了超純的氣路系統(tǒng),源的切換和輸入采用了多路組合閥進(jìn)氣技術(shù)。由于組合閥具有極小的死空間,使得源的殘留量非常少,有利于生長(zhǎng)具有陡峭界面的材料。


            采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力,大大降低了源的壓力和濃度波動(dòng),有利于材料生長(zhǎng)的重復(fù)性和穩(wěn)定性。


            采用了管道鑲嵌式進(jìn)氣噴頭,使反應(yīng)源在襯底表面均勻混合并反應(yīng),大大降低了預(yù)反應(yīng)的發(fā)生。


            采用電阻式快速升降溫加熱爐。


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            易用性

            10分

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            10分
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            MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備信息由鵬城微納技術(shù)(沈陽(yáng))有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢。
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