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9NG Getter純化器品牌
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9NG系列高性能氣體純化器由氣路和電控兩部分所組成。氣路部分主要由吸氣劑(Getter)純化單元和一系列閥門、氣體管路和散熱器所組成。純化器可配置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器，采用化學(xué)反應(yīng)的方法在高溫下將工藝氣體中的H20,02,CO,CO2CH4,NMHC,N2等雜質(zhì)去除到1ppb以下。電控部分負責(zé)控制系統(tǒng)的溫度和安全報警等過程，確保純化器能夠持續(xù)安全穩(wěn)定地運行。
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