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VUP-100TG/200TG/300TG 氣體終端面板品牌
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上海樣本
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產品特點
? 超高純度氣體終端適用于所有氣體輸送系統(tǒng)
100TG:≤30 slpm （1/4 " VFS）
200TG:≤300 slpm （3/8”VFS）
300TG:≤600slpm （1/2 " VFS）
? 控制精度高
? 所有連接端口使用焊接或VFS接頭
? 手動或氣動隔膜閥選擇
? 100%氦泄漏測試
技術參數(shù)
? 進氣壓力P1: 300 psig
? 出氣壓力P2: 30/60/100/150 psig
隔膜閥材質
? 母體: 316L
? 閥座: PCTFE
? 膜片: Elgiloy?
監(jiān)管機構材質
? 母體: 316L / 316L secondary remelt
? 閥座: PCTFE
? 膜片: Hastelloy? C276
? 泄漏率: (外部) 1x10-9 mbar I/s He
(內部) 1x10-8 mbar I/s He
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