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生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-HV品牌
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MSI-100-HV生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備是針對(duì)企業(yè)和高校實(shí)驗(yàn)室以及小試線研發(fā)的高性能、低成本和高效率的磁控濺射裝備。它采用簡(jiǎn)單可靠的模塊化設(shè)計(jì)，包括進(jìn)樣室和濺射室，可滿足8inch晶圓上納米級(jí)材料的生產(chǎn)制備需求，具有穩(wěn)定、可靠、成本低的特點(diǎn)。
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