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氮化鋁靜電卡盤燒結(jié)爐品牌
錦業(yè)源自動化產(chǎn)地
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設備用途:
靜電卡盤燒結(jié)
設備規(guī)格:
有效溫區(qū)尺寸:500x800mm
加熱器:鎢板式壓雙筋加熱器(上中下全方位)上下為鎢網(wǎng)發(fā)熱體隔熱屏材料:W+Mo復合屏
承載重量:2300KG(不含料架500kg)
**溫度:2000℃C
工作溫度:1850℃C
溫度均勻性:±5℃℃(1500℃測溫環(huán)測試)
升溫速率:0~20°C/min(可調(diào))
控溫精度:±1°℃
熱電偶:4組鎧裝鎢錸熱電偶極限真空度:<10Pa，真空泵和爐體之間裝有過濾裝置20Min達到10Pa以下
壓升率:<5 Pa/h
空爐抽空時間:至工作真空度≤20min工藝氣氛:氮氣/氫氣/濕氫(三質(zhì)量流量計)，**流量控制6m3/h爐內(nèi)壓力:壓力0.03Mpa(微正壓)加熱功率:270KVA(峰值)
出料方式:下出料+水平行走
冷卻水壓力:爐體等冷卻系統(tǒng)進水壓力0.2~0.3Mpa，回水壓差<0.1mpa
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