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1：產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

（1）可以實(shí)現(xiàn)磁控、PECVD、熱絲、 離子輔助和多弧復(fù)合；

（2）適合制備碳膜、陶瓷和金屬厚膜；

（3）適合高溫、長時(shí)間工藝模式；

2：應(yīng)用領(lǐng)域

（1）刀具、模具；

（2）汽車零部件減磨和耐腐蝕；

（3）高端軸承涂層；

（4)高端雙極板涂層制備。

3：技術(shù)參數(shù)

（1）PVD兼容PECVD工作模式。單室裝爐量50-100片，1爐/4小時(shí)；半連續(xù)線模式，1片/分鐘。

（2）技術(shù)指標(biāo)：1.5MPa，接觸電阻小于3mΩ；300mV 80℃腐蝕電流0.2μA。

每爐100片，4小時(shí)/爐。

工作產(chǎn)量：12萬片/年以上。

三、商業(yè)模式：

1：OEM代工涂層加工；

2：設(shè)備定制和工藝支持；

3：合資辦廠。