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單晶爐石墨熱場(chǎng)品牌
河北晶碳產(chǎn)地
上海樣本
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在太陽(yáng)能光伏行業(yè),合格的單晶硅熱場(chǎng)能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng)造良好的熱場(chǎng)條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長(zhǎng)的載體,石墨在直拉單晶生長(zhǎng)爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。
熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,未來(lái)防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設(shè)置了保護(hù)板和保護(hù)套。
加熱器
加熱器是熱場(chǎng)中很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度**的時(shí)候可以達(dá)到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。就信瑞達(dá)石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。
石墨電極
石墨電極的作用平穩(wěn)固定加熱器并通過(guò)他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結(jié)實(shí)耐用、表面要光滑平穩(wěn),保證良好的接觸面,通電時(shí)不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托桿、坩堝和托盤共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結(jié)合牢固,對(duì)中性良好在下軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調(diào)節(jié)的。
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