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碳化硅異型件

• 高強度、高致密度、硬度接近金剛石、耐磨損；

• 優(yōu)秀的化學穩(wěn)定性，能抵抗各種酸、堿及有機溶劑類的腐蝕；

• 高導熱率、低熱膨脹系數(shù)、耐熱沖擊，并且*低熱變形；

• 耐高溫1600攝氏度以上，具有優(yōu)秀的抗氧化性能；

• 電阻率在106-108Ω、無磁性，符合抗ESD的規(guī)范要求；

• 高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形；

• 全面的耐化學腐蝕能力

• 耐電漿轟擊，特別適用于刻蝕設備；

• 低密度、質(zhì)量輕。