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儀器簡介：

• 集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡，可以實現(xiàn)亞 10 nm 結構的超高精度加工

  快速、精準的亞 10 納米結構加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實現(xiàn)無縫切換：

• 氖離子束可以快速高效地進行納米結構加工。

• 氦離子束可以加工亞 10nm 級精度的結構。

• 備選的鎵聚焦離子束能夠進行大塊樣品材料的刻蝕。

儀器特點：

• 快速亞 10 nm 結構加工

  使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細亞 10 納米結構。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術刻蝕材料，在亞 10nm 加工應用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。

• 集三種離子束顯微技術于一體

  使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準的氖離子束快速完成微加工，利用氦離子束加工精細的亞 10 納米級結構。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質變化。

• 高分辨率成像

  借助 0.5 納米成像分辨率，它可在同一臺加工儀器中實現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）成像相比，其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細節(jié)。

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Orion NanoFab 擁有納米加工和成像引擎 - 配有集成軟、硬件的控制系統(tǒng)。納米圖形發(fā)生器（NPVE）為每個 NanoFab 鏡筒提供了一臺 16 位掃描圖形發(fā)生器，以及支持實時圖案加工和成像的雙信號采集硬件。通過圖形化用戶界面（GUI）完全控制離子束：可創(chuàng)建一系列可編輯的形狀，如矩形、梯形、多邊線、直線、折線、橢圓及點。然后，對這些形狀進行矢量切割，并通過劑量和加工參數(shù)的調節(jié)進行完全的過程控制