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本款HCl分析儀基于第五代光腔衰蕩光譜技術(shù)，以ppt級超高靈敏度測量HCl的濃度。該設(shè)備采用近紅外激光，通過高精確度傳感器進(jìn)行特定識別，用單一的時(shí)間變量進(jìn)行濃度分析。配備的高精度溫度和壓力控制系統(tǒng)，確保儀器在不斷變化的環(huán)境條件下獲得更高的精確度、準(zhǔn)確性和更低的漂移。具有精確的溫度控制和壓力控制，使得儀器長時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)*少的校準(zhǔn)要求；分析儀異常結(jié)實(shí)，幾乎無漂移和維護(hù)方便，無需耗材，是一套簡單易用和擁有成本優(yōu)勢的系統(tǒng)。
站點(diǎn)間運(yùn)輸簡單，分析儀可于幾分鐘內(nèi)安裝，無需樣品準(zhǔn)備。實(shí)時(shí)顯示氣體濃度，無需后處理，數(shù)據(jù)不斷存儲到分析儀內(nèi)部硬盤。在實(shí)驗(yàn)室和其他更嚴(yán)厲的環(huán)境，可以幾個(gè)月無人值守運(yùn)行。分析儀可以配置為通過以太網(wǎng)連接自動(dòng)定期導(dǎo)出測量數(shù)據(jù)，也可以輸出實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)（通過RS- 232接口）和可選擇的模擬輸出方式。用戶可以通過一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的遠(yuǎn)程桌面連接或類似的遠(yuǎn)程登錄軟件遠(yuǎn)程連接分析儀的Windows 7操作系統(tǒng)來控制它。分析儀內(nèi)置閥門控制軟件，可控制六路電磁閥和回旋閥。
技術(shù)原理
第五代光腔衰蕩光譜技術(shù)
主要特點(diǎn)
l 測量腔室體積：30mL
l 出色的靈敏度、精確度和準(zhǔn)確度，幾乎無漂移
l 快速、連續(xù)、實(shí)時(shí)測量，無干擾
l 大的動(dòng)態(tài)量程，高度線性
l 無需耗材
l 對環(huán)境溫度變化不敏感
l 安裝快捷，方便簡單-整個(gè)系統(tǒng)的配置僅需要幾分鐘的時(shí)間
性能指標(biāo)
目標(biāo)氣體 | 檢測限（300s標(biāo)準(zhǔn)差，4h，3-sigma） | 零點(diǎn)漂移（5min平均） | |
HCl | <120ppt | ± 400ppt/±1000ppt（24h/1個(gè)月） | |
系統(tǒng)參數(shù) | |||
測量技術(shù) | 光腔衰蕩技術(shù) | 溫度控制精度 | +/- 0.004℃ |
測量范圍 | 0-2000ppb | 壓力控制精度 | +/- 0.0002atm |
測量間隔 | ~5s | 取樣溫度 | -10~50℃ |
取樣壓力 | 300-1000Torr （40-133kPa） | 取樣流速 | <600sccm |
取樣濕度 | 環(huán)境溫度 | 15~35℃（運(yùn)行溫度）；-10~50℃（保存溫度） | |
環(huán)境濕度 | <99% R.H.，無冷凝 | 輸出接口 | RS-232，以太網(wǎng)，USB |
接口 | 1/4”世偉洛克 | 尺寸 | 分析儀：45 x 18 x 46 cm，不含0.5的地腳；外置泵：34 x 23 x 17 cm |
重量 | 33kg，不含外置泵 | 功耗 | 100-240V，47-63Hz ，啟動(dòng)時(shí)<250W；穩(wěn)定后110W（分析儀），75W（外置泵） |
校準(zhǔn) | 校準(zhǔn)測量受限于無法得到連續(xù)的穩(wěn)定濃度的樣品，請調(diào)查商用標(biāo)準(zhǔn)氣體是否符合應(yīng)用。 | ||
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