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NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計(jì)量型設(shè)備。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，彌補(bǔ)兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學(xué)非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三維粗糙度（Sa，Sq，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測量的新時(shí)代。

測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖， 輪廓線等

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量

6、微電子表面分析和MEMS表征

輪廓儀的主要特點(diǎn)：

高精度

**的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學(xué)非接觸式）

對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性

沒有機(jī)械過濾

寬闊的垂直測量范圍

多種選擇光學(xué)頭及接觸式

圖像;縫合;技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

透明，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料

垂直臺(tái)階，高寬深比，隆起，孔洞

脆性的材料，軟材料，柔性材料表面

尖銳的，堅(jiān)硬的，磨損的表面

適應(yīng)性強(qiáng)

白光光源，人體安全設(shè)計(jì)，長壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。

接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10um X 10um到500um X 500um。樣品臺(tái)掃描使用高級別光學(xué)參考平臺(tái)能使長程掃描范圍到50mm。

在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測量動(dòng)態(tài)范圍

君子蘭葉子表面

城市綠化帶灌木葉子表面