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2核心參數(shù)：

l儀器種類：原子力顯微鏡

l樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：180mm*180mm

l樣品尺寸：<500mm

l定位檢測(cè)噪聲：X-Y<0.15nm RMS，Z=35pm RMS

l產(chǎn)地類別：進(jìn)口儀器

Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N₂條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

lPark Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Hivac管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制**真空條件抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

l高級(jí)自動(dòng)化特點(diǎn)

NX-Hivac具有大量功能從而能夠**化減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。

l配備電控載物臺(tái)的StepScan自動(dòng)化掃描

StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可極大地提高生產(chǎn)率，**化減少用戶輸入。

l電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)

Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無需輸入即可無縫銜接自動(dòng)化測(cè)量例程。憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到**位置。

l提高精度和生產(chǎn)率

NX-Hivac即是全球*精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時(shí)也是用于故障分析的*簡(jiǎn)單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。

l閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測(cè)量。

l低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)**的低噪聲Z軸探測(cè)器功能，可準(zhǔn)確測(cè)量樣本形貌，同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

l24位數(shù)字電子控制器

NX-Hivac的一大特點(diǎn)是NX系列電子控制器可實(shí)現(xiàn)時(shí)間浪費(fèi)*小化、精度**化。我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式?？刂破骶哂械驮肼曉O(shè)計(jì)和高速處理部件，是精密電壓和電流測(cè)量及納米級(jí)成像的**之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn)，用戶可輕松地分析測(cè)量值和成像。