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儀器簡(jiǎn)介：

先鋒公司代理美國(guó)SRS公司的RGA100殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測(cè)的真空設(shè)備，主要用來檢測(cè)真空腔中的氣體成分和氣體濃度。其殘余氣體分析儀可以達(dá)到百萬(wàn)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測(cè)極限，帶有分析軟件和RS232接口。優(yōu)異的性能，超高的性價(jià)比，完全滿足您真空方面的科研實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

RGA殘余氣體分析儀主要參數(shù)如下：

• 100， 200 and 300 amu systems

• Better than 1 amu resolution

• 6 decades of dynamic range

• 5 × 10−14 Torr detection limit

• RGA Windows & LabVIEW software

• Field-replaceable electron multiplier and filament

• RS-232 interface

主要特點(diǎn)：

在真空腔內(nèi)RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進(jìn)入四極桿產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)電場(chǎng)內(nèi)，由于不同的粒子質(zhì)量數(shù)不一樣，在一定的電場(chǎng)作用下所形成的偏轉(zhuǎn)半徑就不一樣。相當(dāng)于我們?cè)谒臉O桿上加特定的電場(chǎng)就會(huì)有特定質(zhì)量數(shù)的離子打到探測(cè)器陽(yáng)極上，探測(cè)器所產(chǎn)生的電流正比于氣體分子的濃度。進(jìn)一步改變電場(chǎng)，就可以檢測(cè)到不同質(zhì)量數(shù)離子的濃度。之后我們?cè)僮鲭妶?chǎng)掃描，就可以計(jì)算出真空腔中所含氣體的成分。