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MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡
Alpao變形鏡是一款使用電磁驅動器的高速、高線性度和大波前調制量的連續(xù)反射面變形鏡，小巧緊湊的結構設計配合Alpao優(yōu)異的自適應系統(tǒng)控制算法，能夠很好地滿足快速、準確的波前校正需求。
MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡核心特點:
l 可修正低級次大相差
l 可修正高級次相差
l 高達80μm PtV大波前調制量（>120μm可選）
l 相鄰驅動器調制量>5μm PtV
l 高分辨率波前畸變校正
l 500μs快速響應
l 優(yōu)于97%的高線性度
l 優(yōu)于±1%的高穩(wěn)定性
l 高品質鍍膜
l ±1V低電壓驅動電路
l 平均功耗<10W
l 體積小巧，安裝方便
MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡型號及參數：
Model | DM69 | DM88 | DM97- 08 | DM97- 15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
Number of actuators | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
Pupil diameter | 10.5 mm | 20.0 mm | 7.2 mm | 13.5 mm | 37.5 mm | 24.5 mm | 33.0 mm | 45.0 mm |
Pitch | 1.5 mm | 2.5 mm | 0.8 mm | 1.5 mm | 2.5 mm | 1.5 mm | ||
Maximum mirror best flat in close loop | 7.0 nm RMS (no print through effects) | |||||||
Minimum tip/tilt stroke (PV， wavefront) | 60 μm | 40 μm | 80 μm | 60 μm | 40 μm | 15 μm | ||
Minimum focus/astig. stroke (PV， wavefront) | 40 μm | 30 μm | 40 μm | 40 μm | 30 μm | 10 μm | ||
Minimum 3x3 stroke (PV， wavefront) | > 25 μm | > 10 μm | ||||||
Maximum settling time (at +/-1 0%) | 800 μs | 1.6 ms | 800 μs | 1.6 ms | 500 μs | |||
Minimum bandwidth* | > 750 Hz | > 400 Hz | > 750 Hz | > 400 Hz | > 2 000 Hz | |||
Minimum frequency at phase lag of 45° | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1 500 Hz | |||
Hysteresis error | <2% | |||||||
Non linearity error | <3% | |||||||
Coating* | 銀膜R>96.5%@0.5μm~2μm | |||||||
Operating temperature | -10 to 35°C | |||||||
備注*：帶寬及反射膜均可根據客戶實際需求定制。
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