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            C11665-01微米膜厚測量儀
            C11665-01微米膜厚測量儀

            參考價(jià)格

            面議

            型號(hào)

            品牌

            產(chǎn)地

            日本

            樣本

            暫無
            濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國)有限公司

            會(huì)員

            |

            第2年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            C11665-01 微米膜厚測量儀

            特性

            • 無參照物工作

            • 尺寸緊湊,節(jié)省空間

            • 高速、高準(zhǔn)確度

            • 不整平薄膜精確測量

            • 分析光學(xué)常數(shù)(n,k)

            • 可外部控制

            參數(shù)

            型號(hào)C11665-01
            可測膜厚范圍(玻璃)0.5 μm to 700 μm*1
            可測膜厚范圍(硅)0.5 μm to 300 μm*2
            測量可重復(fù)性(硅)0.1 nm*3 *4
            測量準(zhǔn)確度(硅)±1 %*4 *5
            光源LED
            測量波長940 nm to 1000 nm
            光斑尺寸Approx. φ1 mm*4
            工作距離5 mm*4
            可測層數(shù)**10層
            分析FFT 分析,擬合分析,光學(xué)常數(shù)分析
            測量時(shí)間19 ms/點(diǎn)*6
            光纖接口形狀FC
            外部控制功能RS-232C / Ethernet
            電源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
            功耗85W

            *1:SiO2薄膜測量特性

            *2:Si薄膜測量特性

            *3:測量6 μm厚硅薄膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差

            *4:取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率

            *5:在標(biāo)準(zhǔn)量具的測量保證范圍內(nèi)

            *6:連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間

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            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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