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INFICON 公司生產(chǎn)的BCG 450 型B – A 皮拉尼電容薄膜真空計

將三種不同的規(guī)管綜合在一個小型經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量過程

壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng)從5×10-10 至 1500 毫巴(3.75 ×10-10 至1125

乇)。BCG 450 用于取代三種傳感器（熱離子，對流增強(qiáng)型

皮拉尼和真空開關(guān)），從而節(jié)省成本和寶貴的空間。

用戶優(yōu)越性

􀂠 BCG 450 節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與

設(shè)置的復(fù)雜性

􀂠 10 乇以上的與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)測量，對許多混合氣體

提供更可靠的自鎖控制

􀂠 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱燈絲，防止過早燒毀

􀂠 自動的高真空和大氣壓皮拉尼調(diào)整，無需操作人員干預(yù)

􀂠 相對于大氣壓的差壓測量免除了與大氣壓變化有關(guān)的不穩(wěn)定性

􀂠 傳感元件容易更換，帶機(jī)載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證數(shù)據(jù)的再現(xiàn)性

􀂠 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

典型應(yīng)用

􀂠 半導(dǎo)體工藝，傳送和自鎖室的壓強(qiáng)測量

􀂠 工業(yè)鍍膜

􀂠 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制