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對應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表

薄片檢查

對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。

高度實(shí)用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

操作便捷

• 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120工具顯微鏡可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

• 晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。

• AL120工具顯微鏡使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

• 為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。

• 在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測，同時(shí)，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。

堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座

AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實(shí)現(xiàn)了**的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120工具顯微鏡還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺

• 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

• 可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺，進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置。