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儀器簡(jiǎn)介：

20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶，是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。即使在透明的基底上也能對(duì)超薄膜進(jìn)行*精確的測(cè)量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù)，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比，能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。

技術(shù)參數(shù)：

可選光譜范圍：

* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)

* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

* 多種實(shí)用微光斑尺寸選項(xiàng)

* 探測(cè)器：分別針對(duì)紫外，可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器

* 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：多種樣品臺(tái)可選

* 自動(dòng)量角器：變角范圍35° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，*小步長(zhǎng)0.01°

主要特點(diǎn)：

* 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

* 具備超薄膜所需的測(cè)量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

* 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

* 配置靈活