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高靈敏度

SolidSpec-3700和3700DUV是一臺(tái)使用3個(gè)檢測(cè)器的分光光度計(jì)：光電倍增管（PMT）探測(cè)器檢測(cè)紫外區(qū)和可見(jiàn)光區(qū)，近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測(cè)器。InGaAs 和 PbS檢測(cè)器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強(qiáng)。

深紫外區(qū)檢測(cè)

SolidSpec-3700DUV具有檢測(cè)深紫外區(qū)的能力，可測(cè)定至165nm或175nm的積分球。此檢測(cè)是用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥疫M(jìn)行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測(cè)定）的*短波長(zhǎng)。

大樣品室

大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進(jìn)行檢測(cè)。其垂直光路可直接測(cè)量大樣品同時(shí)保持它們的水平狀態(tài)。使用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（選配）測(cè)定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。

FPD：

材料評(píng)估中NIR和大樣品的高靈敏度測(cè)定。

半導(dǎo)體：

短波長(zhǎng)激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測(cè)定。

光通信：

減反射膜NIR高靈敏度測(cè)定。

光學(xué)：

從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。

一體軟件

SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動(dòng)力學(xué)及報(bào)告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。

1.Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對(duì)于液、固樣品透過(guò)率測(cè)定

2.自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（自動(dòng)測(cè)量）

3.大型鏡面反射附件

4.氮?dú)饬髁垦b置

5.鏡面反射附件(5°12°30°45°)

6.積分球刪除樣品盤