| 干涉儀 | Optino 波前系統(tǒng) |
1 | 購(gòu)買(mǎi)、運(yùn)行、維護(hù)費(fèi)用高 | 非常便宜 |
2 | 系統(tǒng)體積大,需要大型光學(xué)平臺(tái) | 結(jié)構(gòu)緊湊,普通桌子就可以 |
3 | 需要昂貴的隔振平臺(tái) | 非常耐用,無(wú)需隔振,普通桌子就可以,即使重?fù)糇雷右膊粫?huì)影響測(cè)試結(jié)果或儀器性能 |
4 | 需要潔凈室 | 普通干凈的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境足夠了 |
5 | 需要控制測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的氣流 | 可以在緊靠打磨機(jī)器工作現(xiàn)場(chǎng)使用 |
6 | 需要激光光源 | 普通光源或激光均可 |
7 | 由于激光波長(zhǎng)范圍有限,只能工作在有限的幾個(gè)波長(zhǎng) | 任何波長(zhǎng)均可工作,從193nm到1700nm,軟件功能不受波長(zhǎng)和配置的影響 |
8 | 僅限于測(cè)試平面、球面及淺度非球面測(cè)試 | 可以測(cè)試深度非球面元件(球形失常值達(dá)50λ) |
9 | 不能測(cè)試非規(guī)則形狀元件 | 可以測(cè)試非規(guī)則元件,如柱面鏡 |
10 | 動(dòng)態(tài)范圍受CCD探測(cè)器上干涉條紋限制, | 方法本身具有高動(dòng)態(tài)特性 |