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ＳＩＤ４?。眨郑龋遥ㄗ贤夤猓?/span>
基于相位的**技術(shù)， 在190納米到400納米波段，SID4 UV-HR波前分析儀（在紫外光譜范圍內(nèi)）具有超高的分辨率(250 x250)和極高的靈敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全適應(yīng)光學(xué)組件描述(用于光刻、半導(dǎo)體)和表面檢測(cè)(鏡頭，晶片……)
主要特點(diǎn)
．超高分辨率?。玻担?#215;２５０
．高靈敏度 ?。埃担睿?/span> RMS
．大型分析孔 ８．０×８．０ｍｍ
.可以直接對(duì)光學(xué)器件表面進(jìn)行測(cè)量
推薦用途
．紫外激光器：光束的測(cè)量和校正
．光學(xué)：紫外線光學(xué)（半導(dǎo)體）測(cè)試和表面測(cè)量。
ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ的詳細(xì)規(guī)格
ＳＩＤ４ UV-HR | 單位 | 數(shù)據(jù) |
波長(zhǎng)范圍 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空間解析度 | Um | 32 |
相位和強(qiáng)度抽樣 | 250*250 | |
分辨率 | nmRMS | 0.5 |
精密度 | nmRMS | 10 |
采集率 | fps | >30 |
實(shí)時(shí)處理頻率 | fps | 1 |
尺寸(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |
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