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快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點(diǎn)：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
參考用戶：
中科院上海技術(shù)物理所，中國(guó)電子科技集團(tuán)41所；
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