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            深能級瞬態(tài)譜儀
            深能級瞬態(tài)譜儀

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            美國

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            科睿設(shè)備有限公司

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            儀器簡介: 美國高分辨深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段!測試功能:電容模式、定電容模式、電流模式、(雙關(guān)聯(lián)模式)、光激發(fā)模式、FET分析、MOS分析、等溫瞬態(tài)譜、Trap profiling、俘獲截面測量、I/V,I/V(T) 、C/V, C/V(T) 、TSC/TSCAP 、光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜、DLOS。

            測試根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動(dòng)的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析,可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布。

            也可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域中,分析少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的關(guān)鍵性雜質(zhì)元素和雜質(zhì)元素的晶格占位,確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。

            感謝中國科學(xué)院寧波材料研究所,國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心南昌大學(xué)西安電子科技大學(xué)成為此設(shè)備的專業(yè)用戶!!

            此設(shè)備在全球用戶眾多,比歐洲設(shè)備性能價(jià)格比高,是研究材料深能級領(lǐng)域的理想工具!!

            系統(tǒng)配置:

            DLTS數(shù)據(jù)采集及分析軟件 (DLTS, ODLTS, DDLTS)

            Boonton 7200型快速電容測試器

            自動(dòng)電容零點(diǎn)界面

            數(shù)據(jù)采集卡及中斷箱

            ODLTS穿導(dǎo)件

            機(jī)柜安裝硬件及電纜

            設(shè)備機(jī)柜

            GPIB 接口卡

            電腦是雙核, 2GB 內(nèi)存, 19”顯示器. USB 接口, CD書寫用于數(shù)據(jù)傳輸.

            可調(diào)節(jié)探針(2)

            閉環(huán)液氦制冷機(jī) (25-700K)

            溫度控制器

            電容測試器指標(biāo):

            型號: Boonton 7200

            電容零點(diǎn)界面: Yes

            全自動(dòng)電容補(bǔ)償: Yes

            全自動(dòng)范圍設(shè)置: Yes

            響應(yīng)時(shí)間: ~25μsec

            補(bǔ)償范圍: 256pF

            測試頻率: 1MHz

            測試信號級別: 15, 30, 50, 100 mV

            電容范圍: 2000pF

            靈敏度: 1fF

            電壓范圍: +100V to –100V (Boonton)

            +10V to –10V (數(shù)據(jù)采集卡)

            靈敏度: 1mV (電壓小于 20V時(shí)), 10mV (電壓大于 20V時(shí))

            0.3mV (數(shù)據(jù)采集卡)

            脈沖寬度: 15ms to >0.1sec (Boonton內(nèi)置偏壓)

            5μs to >0.1sec (數(shù)據(jù)采集卡)

            脈沖幅度: 到 200V, slew rate <20v>

            到 20V, slew rate of 20V/μs (數(shù)據(jù)采集卡)

            電流: 5mA

            數(shù)據(jù)采集卡瞬時(shí)記錄:

            采樣速率: 可至 1μs. 一般使用 >50μs

            采樣次數(shù): >10,000.

            記錄分辨率: 50ns暫時(shí)分辨率, 優(yōu)于 50aF 電容分辨率

            過濾: 全自動(dòng)檢測及正弦噪音消除

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            10分

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            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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            勻膠機(jī),
            關(guān)注度 1322
            磁控濺射系統(tǒng)
            關(guān)注度 714
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