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氦鎘激光器
PLASMA公司是世界上頂尖的氣體激光器生產商，其產品主要特點是高質量、長壽命、中等價格。
1. 標準設計，HCL系列
波長442nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發(fā)散角 (mrad) |
HCL-50V | 60 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-60V(I) | 80 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-70VМ(I) | 100 | 多模 | 1:1 | 2.0 | 2.5 |
HCL-100V | 100 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
HCL-100V(I) | 150 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
波長325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發(fā)散角 (mrad) |
HCL-30UM(I)P | 30 | 多模 | 100:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-10U | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 0.9 |
HCL-30UM(I) | 35 | 多模 | 1:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-100U(I) | 30 | TEMOO | 100:1 | 1.7 | 0.9 |
波長442nm和325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發(fā)散角 (mrad) |
HCL-40 | 5/35 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.4/1.4 | 0.9/0.9 |
HCL-40M | 10/40 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.5/0.9 |
HCL-40(I) | 15/50 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.0/0.9 |
HCL-100(I) | 20/100 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 2.0/2.0 | 2.0/0.9 |
注：帶(I)的型號激光相干長度為750px，不帶(I)的型號相干長度為250px
2. 緊湊型設計，HCCL系列
波長442nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發(fā)散角 (mrad) |
HCCL-10V | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
HCCL-20VМ | 20 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-25V | 25 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
波長325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發(fā)散角 (mrad) |
HCCL-4UM | 6 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-8UM(I) | 12 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-15UM | 15 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-30UM(I) | 25 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
注：帶(I)的型號激光相干長度750px，不帶(I)的型號相干長度250px。
氮分子激光器
氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。 PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器，由于其獨特的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應用于微電子領域如 光掩模、復雜的集成電路、薄膜電阻的生產、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝 光光源。
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