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單片式單基片硅柵陣列（圖1）提供獨(dú)特的高分辨率連續(xù)獲得超出所能獲得的單個(gè)光柵的光帶寬。這種光柵須不能有移動(dòng)部件。單片光柵陣列是一致的單次數(shù)據(jù)采集與許多寬帶應(yīng)用，例如激光誘導(dǎo)擊穿光譜，可以幫助系統(tǒng)元件數(shù)顯著減少。每個(gè)陣列由的所有相干在單一基板上形成的多個(gè)主光柵。母光柵有連續(xù)且輕度重疊的有效光譜范圍。此外，在基底的頂部和底部的輔助光柵產(chǎn)生直接的校準(zhǔn)的輸出區(qū)域用于使用一個(gè)單一參考波長，如氦氖激光器的波長的光輸出。

圖2。示意圖說明操作的單片光柵陣列光譜儀與2D檢測(cè)器設(shè)置

圖3。陣列輸出信號(hào)檢測(cè)原理圖

校準(zhǔn)/準(zhǔn)直功能特性

頂部和底部的六個(gè)小光柵陣列（參見圖1）提供了用于校準(zhǔn)的光譜輸出，以及協(xié)助系統(tǒng)對(duì)齊標(biāo)記，這里的校準(zhǔn)標(biāo)記用于氦氖照明，見示意圖4。校準(zhǔn)標(biāo)記提供了兩個(gè)主要的功能：**，它們表示在主光柵輸出的校準(zhǔn)部分的開始和結(jié)束點(diǎn)。因此，它們?cè)试S用戶校準(zhǔn)波長作為位置的函數(shù)的沿著各母光柵色散線 - 注意，校準(zhǔn)點(diǎn)所表示的波長范圍內(nèi)是獨(dú)立的光柵輸入角度，使光柵陣列具備各種不同可能的樣式。第二，輔助光柵輔助系統(tǒng)調(diào)整。當(dāng)所述檢測(cè)器表面被適當(dāng)?shù)囟ㄎ辉诮蛊矫骊嚵泻缶劢圭R，兩對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)計(jì)為一致性和適當(dāng)遠(yuǎn)場(chǎng)操作指示。中心兩個(gè)標(biāo)記陣列探測(cè)器表面使得水平正確的準(zhǔn)直方式。

單片硅平面陣列

硅基底具有0.73毫米厚度?；宓母叨群蛯挾裙钍?.3毫米。光柵基片：單晶硅。光柵鍍膜：鋁（其它鍍膜類型額外收費(fèi)）。