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廣東以色列理工學(xué)院博士后惠飛博士在提及Park NX-Hivac的論文"Scanning probe microscopy for advanced nanoelectronics"被<<Nature Electronics>>收錄，成為2019 Park AFM獎(jiǎng)學(xué)金的**位獲得者。

Park NX-Hivac

用于失效分析的高真空掃描

• 先進(jìn)的StepScan自動(dòng)化掃描和更快的激光校準(zhǔn)技術(shù)

• 多樣品模塊

• Park招牌技術(shù)便捷的針尖替換

• 大型真空腔300mm X 420mm X 320mm

• 提供超長(zhǎng)觀測(cè)距離的同軸光學(xué)設(shè)備

• 用于提高靈敏度的高真空SSRM

Park NX-Hivac 是一種尖端的高真空原子力顯微鏡，旨在為在高度摻雜的半導(dǎo)體進(jìn)行精確的失效分析。Park NX-Hivac應(yīng)用于失效分析的易用型高真空原子力顯微鏡，提供可重復(fù)且容易實(shí)現(xiàn)的高清晰度和低噪聲的測(cè)量。

Park NX-Hivac

用于失效分析應(yīng)用的高真空掃描

Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過高真空SSRM提高測(cè)量的靈敏度和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度、更好的可重復(fù)性，還能減少針尖和樣品的損傷，用戶從而可以在失效分析應(yīng)用中測(cè)量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)響應(yīng)。

在高真空條件下進(jìn)行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡)測(cè)量能夠減少所需的針尖-樣品相互作用力，這可顯著減少對(duì)樣品和針尖的損傷，并能延長(zhǎng)每個(gè)針尖的壽命，使掃描更方便，并能通過提高空間分辨率和信噪比從而提供更準(zhǔn)確的結(jié)果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成為為故障分析工程師提供的高真空SSRM測(cè)量的**選擇。

Park NX-Hivac

高級(jí)自動(dòng)化特性

NX-Hivac可將用戶所需的輸入操作*簡(jiǎn)化，用戶可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。

包含機(jī)動(dòng)平臺(tái)的StepScan自動(dòng)化

StepScan為用戶提供了對(duì)設(shè)備進(jìn)行編程的能力，以快速且簡(jiǎn)單地對(duì)多個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像。NX-Hivac只需用戶嘗試五個(gè)操作步驟掃描樣本：掃描、提升懸臂、將機(jī)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到用戶定義的坐標(biāo)、進(jìn)針和重復(fù)。這極大地提高了測(cè)量效率，并將所需的用戶輸入操作減少到*低限度。

機(jī)動(dòng)激光校準(zhǔn)

帕克(Park)的機(jī)動(dòng)式激光束校準(zhǔn)模塊允許用戶在無需輸入任何操作的情況下自由地進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量程序。利用我們先進(jìn)的預(yù)對(duì)準(zhǔn)懸臂架，激光束在探針交換時(shí)聚焦在懸臂上。然后通過電動(dòng)定位旋鈕沿X軸和Y軸優(yōu)化激光光斑位置。

燕尾式鎖定

AFM掃描頭可以快速且容易地固定到燕尾形軌道上，具有幾微米的定位重復(fù)性。

多樣品載臺(tái)

磁性載臺(tái)*多可以容納五個(gè)獨(dú)立的樣品。通過減少激活真空泵和排氣口的需求從而提高測(cè)量效率。

大型真空室

NX-Hivac具有300mm X 420mm X 320mm的腔室尺寸，允許用戶掃描更大的樣品尺寸并在不破壞真空密封的情況下將更多的樣品放入真空室樣品臺(tái)上。

簡(jiǎn)單地探針和樣品更換

獨(dú)有的設(shè)計(jì)能讓用戶輕易地用手從側(cè)面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預(yù)先對(duì)齊的懸臂，無需再進(jìn)行繁雜的激光校準(zhǔn)工作。

可用手輕易更換

NX-Hivac有幾個(gè)可用性特征，這使得它比其他**的AFM更加方便和有效。

Park SmartScan™

無論您的AFM需求集中在學(xué)術(shù)研究，還是工業(yè)計(jì)量或故障分析，NX-Hivac的智能掃描自動(dòng)模式都提供了一個(gè)流水線系統(tǒng)，以生成高質(zhì)量的AFM數(shù)據(jù)。SmartScan還可幫助初次使用的學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)獲得高質(zhì)量數(shù)據(jù)。

Park Hivac Manager

NX-Hivac真空環(huán)境下自動(dòng)控制

高真空度由Hivac Manger控制， 通過單擊按鈕進(jìn)行邏輯和視覺控制，為優(yōu)化真空條件和排氣過程提供泵送。每個(gè)過程都通過顏色和示意圖變化進(jìn)行可視化監(jiān)控，用戶無需擔(dān)心單擊按鈕后真空操作的順序。既迅速又便捷的真空控制軟件為用戶帶來易于使用的原子力顯微鏡操作和更好的測(cè)量效率。

自動(dòng)真空抽放

NX-Hivac允許用戶設(shè)置真空泵和排氣的自動(dòng)控制，進(jìn)一步簡(jiǎn)化掃描過程，減少所需的人力投入。采用渦輪泵和干式泵，平均泵速在10～5torr＜5min。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

為樣品和探針針尖而采用的兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z撓曲掃描儀，可保證用戶的掃描非常精確。NX-Hivac提供平面和正交的XY掃描，低殘余彎曲，在整個(gè)掃描范圍內(nèi)提供小于1nm的平面外運(yùn)動(dòng)。NX-Hivac還具有15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，Z軸掃描儀的非線性度小于0.5%。這提供了精確的2D和3D測(cè)量，而再也不需要軟件處理。

低噪聲XYZ位置傳感器

NX-Hivac的特色是Park AFM的行業(yè)**的低噪聲Z探測(cè)器，它能夠精確地測(cè)量樣品形貌，而低噪聲XY閉環(huán)掃描將前后掃描間隙*小化到小于掃描范圍的0.15％。

24位數(shù)字電子

使用NX-Hivac中特有的NX系列標(biāo)志的電子控制器，可使浪費(fèi)的時(shí)間*小化，精度**化。我們的控制器是一個(gè)全數(shù)字，24位高速設(shè)備，它的真正非接觸模式使用戶能夠執(zhí)行廣泛的掃描范圍。該控制器具有低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，可滿足精密電壓和電流測(cè)量以及納米級(jí)成像。嵌入式電子器件還具有數(shù)字信號(hào)處理的特點(diǎn)，允許用戶容易地分析測(cè)量和成像。

技術(shù)參數(shù)/核心參數(shù)：

掃描儀

XY 掃描儀: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)

Z 掃描儀: 15 μm

光學(xué)顯微鏡

物鏡: 10 x

5M pixel CCD

樣品臺(tái)

XY 平臺(tái)行程: 22 mm x 22 mm

樣品大學(xué): 50 mm x 50 mm， 厚度厚至20 mm

物理信息

真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm (外部)

250 mm x 320 mm x 270 mm (內(nèi)部)

系統(tǒng)(包含花崗石&氣泵):

800 mm x 950 mm x 1304 mm

軟件

SmartScan: 帕克AFM 操作軟件

XEI: AFM 數(shù)據(jù)分析軟件

Hivac Manager: 自動(dòng)真空控制軟件

高真空

真空等級(jí): 通常小于1 x 10-5 torr

泵速: 5 min內(nèi)達(dá)到10-5 torr

電子

ADC: 18 通道

4個(gè)高速ADC通道(50 MSPS)

用于X、Y和Z位置傳感器的24位ADC

DAC：12個(gè)通道

2個(gè)高速DAC通道道(50 MSPS)

用于X、Y和Z定位的20位DAC

3通道集成鎖相放大器