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微波材料學(xué)工作站--微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要用途：

主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體，大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域

產(chǎn)品特點(diǎn)：

★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu)，使取放物料過程簡(jiǎn)化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作，取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞

★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理

★**開發(fā)的微波場(chǎng)專用傳感器，精準(zhǔn)控溫

★安全：**采用防止泄漏的四級(jí)聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì)，多重防泄漏保護(hù)

*標(biāo)配裝有專業(yè)微波抑制器

*內(nèi)置微波泄漏傳感器

★節(jié)能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，也避免了因加熱元件損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失

★采用無級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源，確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時(shí)間運(yùn)行

★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫

★無須烘爐過程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻

★微波能量即開即有，無熱慣性，易于控制溫度

★爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇

★保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡(jiǎn)便

★配有萬向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動(dòng)和固定

選配功能：

1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊：型號(hào)后面加Ｄ　　　

◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制，（標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū)）

◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配

◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成

◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長度均可調(diào)。

2.可根據(jù)用戶需求定制立式或其他尺寸

技術(shù)參數(shù)：