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勻膠機，旋涂儀，甩膠機，EZ8，安賽斯，美國進(jìn)口

根據(jù)可旋涂尺寸大小，有EZ4，EZ6，EZ8，EZ12等多個產(chǎn)品系列，產(chǎn)品詳情請登錄安賽斯（中國）有限公司官網(wǎng)查詢。

產(chǎn)品介紹：

名稱：高精密勻膠機

型號：SC100-SE

產(chǎn)地：

應(yīng)用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

產(chǎn)品描述：

Smart Coater®精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中**的**達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復(fù)性。

性能指標(biāo)：

·主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

·旋涂程序：*多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

·轉(zhuǎn)動速度：0-10，000rpm（更高速可選）

·旋涂加速度：0-50，000rpm/sec（空載）

·馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差< ±1rpm

·轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

·工藝時間設(shè)定： 0-3，000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

·支持wafer尺寸25px-200mm（8”圓晶）

·旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品優(yōu)點：

·**的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

·7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

·Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

·標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

·采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機內(nèi)部。

·機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

·排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

·透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)

　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)

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根據(jù)可旋涂尺寸大小，有EZ4，EZ6，EZ8，EZ12等多個產(chǎn)品系列，產(chǎn)品詳情請登錄安賽斯（中國）有限公司官網(wǎng)查詢。