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Instec
來自液晶先驅(qū)院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測設(shè)備
功能特點(diǎn) |
可編程精密控溫?？瑟?dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制 |
帕爾貼原理溫控，使用時(shí)無需耗材 |
適用**100 mm尺寸晶圓 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨(dú)立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓 |
尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺(tái) |
可快速裝載晶圓的凸起結(jié)構(gòu)臺(tái)面 |
軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK |
#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí)，詳見 配置列表 |
可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商 |
技術(shù)參數(shù) | ||
通 用 參 數(shù) | 溫度分辨率 | 0.001℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃(at 100℃)可提升穩(wěn)定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm 可升級(jí)均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時(shí) | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質(zhì)RTD | |
溫控方式 | 直流式PID (變直流形式(LVDC)輸出) | |
*其他技術(shù)參數(shù)請(qǐng)參考 型號(hào)規(guī)格表 | ||
配置列表 | ||
標(biāo) 準(zhǔn) | TC102S溫控晶圓夾盤 | 選1 |
TC104S溫控晶圓夾盤 | ||
mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選 | √ | |
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱 | √ | |
升 級(jí) | 提升熱臺(tái)的**溫度 | |
選 配 | 固定支架 把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng) | |
溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件 | ||
*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
型號(hào)規(guī)格表 | ||||
型號(hào) | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | **制熱速度 |
TC102S | 40 mm | 8 mm ~ 40 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃/分鐘(at 37℃) |
TC104S | 40 mm | 8 mm ~ 100 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃ /分鐘(at 37℃) |
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