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Energetiq激光驅(qū)動白光光源LDLS EQ-99X

Energetiq激光驅(qū)動白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高穩(wěn)定、長壽命寬光譜光源，采用LDLS™激光驅(qū)動光源技術(shù)，使用高功率連續(xù)激光直接聚焦氙燈內(nèi)的氙離子加熱至非常高的的溫度，從而發(fā)出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命，紫外功率高等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線包括深紫外線（DUV）， 并覆蓋從可見光到近紅外光區(qū)（NIR），波長范圍從 170nm到2100nm 以上。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

連續(xù)激光等離子體發(fā)光，100-200μm光斑

整個光譜具有高亮度（170-2100nm）

可取代氘燈，鹵素?zé)簦療舻榷喾N燈

非常好的空間和功率穩(wěn)定性

超凈間裝配提高穩(wěn)定性和壽命

無電極長壽命運(yùn)行，降低運(yùn)行成本

應(yīng)用：

紫外可見紅外光譜，顯微，單色儀光源

半導(dǎo)體厚度測量，形貌測量

光學(xué)元件測量

環(huán)境，氣象監(jiān)測，氣相測量

材料表征，先進(jìn)成像/照明

長壽命燈應(yīng)用

工作原理圖

產(chǎn)品參數(shù)：

目前LDLS激光驅(qū)動白光光源已廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)生產(chǎn)，超過2000臺光源出貨，中國大部分高校和部分半導(dǎo)體檢測廠家均在使用該光源且反饋良好！

產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢：

1.寬光譜，高亮度：LDLS激光驅(qū)動白光光源具有很寬的光譜表現(xiàn)，從深紫外-可見光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有極高的亮度表現(xiàn)

由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區(qū)域是75W氙燈的10倍，可見光區(qū)域也是數(shù)倍；對于30W的氘燈亮度更是100倍以上。

2.長壽命：LDLS激光驅(qū)動光源在工作10000小時后仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%只需要2000小時，氘燈只需要1000小時，極大地節(jié)約換燈，中斷實(shí)驗/產(chǎn)品線調(diào)試等運(yùn)行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續(xù)工作。

3.光斑極?。?/span>下面三幅分別為氙燈，LDLS激光驅(qū)動白光光源的等離子發(fā)光體圖。經(jīng)過測試氙燈尺寸大于2mm*2mm，EQ-77約為150*300μm，EQ-99約為70*145μm。極小的等離子體光斑帶來非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時具有非常高的優(yōu)越性，進(jìn)入的能量比普通光源能高達(dá)10-100倍；另外耦合于光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素?zé)魩缀鹾茈y耦合。

氙燈（左）和LDLS（右）等離子體實(shí)物圖

4.等離子體位置/功率非常穩(wěn)定：下圖為等離子體中心位置監(jiān)測圖，在200Hz頻率下共2500個監(jiān)測點(diǎn)，平均縱向不穩(wěn)定度為0.094μm，橫向不穩(wěn)定度為0.145μm，具備了極高的光斑位置穩(wěn)定性，從而保證了測量過程和結(jié)果的穩(wěn)定性。1000個積分時間為8ms共8s強(qiáng)度測量，平均強(qiáng)度不穩(wěn)定性為0.25%，峰峰值不穩(wěn)定性為0.55%。

等離子體中心位置強(qiáng)度不穩(wěn)定性測量