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            TMC數(shù)字精密電子定位系統(tǒng)PEPS II
            TMC數(shù)字精密電子定位系統(tǒng)PEPS II

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            暫無
            森泉光電有限公司

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            第2年

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            數(shù)字精密電子定位系統(tǒng)

            peps®II是在TMC的**peps®(精密電子定位系統(tǒng))基礎上建立的并進行了改善。通過添加一個新的數(shù)字控制器使pep®II的使用更簡單,提供了更多的功能,并且具有改進的用戶界面。peps®II是用于TMC氣浮隔振系統(tǒng)的數(shù)字式非接觸高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包含機械高度閥和機械高度傳感裝置,其應用范圍從用于半導體制造設備提高沉降時間和增加產量,到要求噪聲性能和穩(wěn)定的平臺的精密實驗室環(huán)境。

            特性和好處

            ?數(shù)字控制,用戶友好的LCD接口

            ?用于Gimbal Piston,CSP和Maxdamp的非接觸式電動氣浮高度控制隔振系統(tǒng)

            ?z軸位置重復性:10微米

            ?通過消除常規(guī)機械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點改善隔振性能

            ?氣浮前饋功能使z軸對x - y軸運動的反應達到zui 小化

            ?可選“VX”功能集成慣性傳感器,用于垂直隔離器共振主動阻尼

            ?比例電子閥。通過使用“開關”或傳統(tǒng)電子閥門無脈沖噪聲引入

            Specifications-

            Physical Dimensions

            PEPS® II Controller 1.72" (43.7mm) H x 8.0" (203mm) W x 9.4" (240 mm) D

            Weights

            PEPS® II Controller: approximately 3.0 lb (1.2 kg)

            Environmental

            (refer to EN 61010-1: 1993,

            EN 61010-1/A2: 1995)

            For indoor use only, up to an elevation of 2,000 m (6560 ft.)

            Maximum allowable temperature range: 5° C to 35° C

            Maximum allowable humidity: 80% up to 31° C, decreasing linearly to 50% relative humidity at 40° C

            Tolerance in main supply voltage: 85 VAC - 240 VAC

            Over voltage category: 2

            Pollution degree (IEC 664): 2

            Ventilation requirements: 25 mm clearance on sides, 0 mm top and bottom

            Power Requirements

            Power input voltage range: 90-230 VAC

            Input frequency range: 50-60 Hz

            PEPS® II User Interface

            (Front Panel)

            Power switch

            4 menu buttons

            LCD display 20 x 2 characters

            2 diagnostic sockets (BNC-type)

            Three-color status LED

            USB port

            PEPS® II Interface

            (Rear Panel)

            AC power entry with EMI filter

            1 air INPUT snap-in port for 1/4" O.D. tubing

            1 air OUTPUT (Exhaust) snap-in port for 1/4" O.D. tubing

            4 air snap-in ports for 1/4" O.D. tubing (one per isolator)

            DB-25 male inputs-outputs and feedforward socket

            1 Phoenix 0.2" pitch 6 pins GREEN header (vertical proximity sensors)

            1 Phoenix 3.5 mm pitch 6 pins BLACK header(horizontal proximity sensors)

            Grounding threaded stud (#10-32 thread)

            DB-25 F socket: 1x digital Input, 3x geophone sensorsinterface (“-VX” option)

            DB-25 F socket: 1x digital input, 3x current output proximity sensors (optional)

            PEPS® II

            Performance

            Specifications

            Analog inputs (unipolar): 8 x 12 bit (16 bit using over sampling), 0…3.0 V full scale

            Analog inputs (feedforward): 5 x 12 bit

            (16 bit using over sampling), ±9 V full scale

            Analog inputs (unipolar) protection: +5 Volts, -0.5 V clipping

            Analog input (feedforward) protection: ±15 Volts clipping

            Analog outputs: 4 x 12 bit (16 bit with over sampling), 0…3.0 V full scale

            Analog outputs (OPTIONAL): 8 x 16 bit, 0…3.0 V full scale

            Analog output protection: indefinite short circuit protection, +5 Volts clipping

            Digital input voltage rating: 0…+3.3 V, +5 V tolerant (+5 Volts clipping)

            Digital output rating: 0…+3.3 V, 20 mA max.

            Digital I/O protection: +5 Volts, -0.5 Volts clipping

            External available power: +5 VDC, 2.0 A max; +15 VDC, 1.0 A max. (20 Watt max)

            Communication port: USB, appears as RS-232 on PC

            Processor: ARM7TDMI / 41.78 MHz

            Control loop rate: 100 Hz - 2.0 KHz

            Proximity sensors: 3x vertical, (3x horizontal optional) Eddy current, NAMUR 0-20 mA output

            Velocity sensors - geophones (“-VX” option): 3x vertical, current output

            Pneumatic

            Specifications

            Long-term height stability: ±50 microns

            Long-term tilt stability: ±50 micro radians

            Servo valves: 4 x 2-way variable-orifice proportional servo valves

            Valving technique: pure class-A

            Maximum input pressure: 120 PSI or 8.3 Bar or 830 KPa

            Nominal air consumption: 60 slpm (2 scfm)

            Air requirements: clean, dry air, filtered to 20 microns or better

            Fail safe: isolators deflate on power failure or power off

            Pneumatic fittings: 'one touch' quick fittings for 1/4" O.D. hose

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            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

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