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概述
EXT75DX分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，采用成熟的軸承技術(shù)，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承，并采用Holweck拖曳分級(jí)技術(shù)，可以DC 24V直接驅(qū)動(dòng)，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法蘭有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可選。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。
性能特點(diǎn)
智能控制，功耗低，減少運(yùn)行成本
與Edwards TIC渦輪與儀表控制器兼容，可以添加1~3真空規(guī)而無(wú)需額外真空控制器，可以連接冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)放氣閥
并行或串行接口：并行模式允許使用傳統(tǒng)控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控放氣閥設(shè)置、運(yùn)行轉(zhuǎn)速、待機(jī)轉(zhuǎn)速、可編程功率設(shè)置、功耗、泵/控制器溫度
入口配有篩網(wǎng)
上軸承為**性磁懸浮軸承：無(wú)需清潔、振動(dòng)小、磨損低
配有手動(dòng)放氣閥（可選配電磁閥，用于全自動(dòng)放氣）
Holweck拖曳分級(jí)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力差
帶有吹掃口，提供制程氣體稀釋，以保護(hù)電機(jī)和下軸承
技術(shù)指標(biāo)
入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K | |||||
出口法蘭 | KF16 | |||||
抽 速 | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |||
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |||
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |||
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |||
壓 縮 比 | N2 | >1×1011 | ||||
He | 1×106 | |||||
H2 | 5×104 | |||||
極限 真空 | RV泵，ISO/CF | <5×10-9/<5×10-10 mbar | ||||
隔膜泵，ISO/CF | <5×10-8/<5×10-9 mbar | |||||
推薦前級(jí)泵* | RV5/nXDS6i | |||||
放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | |||||
**連續(xù)入口壓力（輕質(zhì)氣體）? | ||||||
水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C） | 2×10-2 mbar | |||||
空冷（環(huán)境溫度35°C） | 1×10-2 mbar | |||||
泵轉(zhuǎn)速 | ||||||
標(biāo)稱轉(zhuǎn)速 | 90000rpm | |||||
待機(jī)轉(zhuǎn)速 | 49500~90000rpm可調(diào) （缺省63000 rpm） | |||||
功率范圍 | 50~120W可調(diào) （缺省80W） | |||||
90%轉(zhuǎn)速啟動(dòng)時(shí)間 | 110s? | |||||
模擬輸出 | 泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度 | |||||
冷卻方式# | 空冷/水冷 | |||||
空冷環(huán)境溫度 | 5~35°C | |||||
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |||||
水溫范圍 | 10~20°C | |||||
入口法蘭**溫度 | 100°C | |||||
工作姿態(tài) | 垂直、水平 | |||||
噪聲（1m處） | <50dB(A) | |||||
**耐受磁場(chǎng) | 5mT | |||||
推薦控制器 | TIC100渦輪儀表控制器 | |||||
穩(wěn)態(tài)功耗 | 10W | |||||
*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級(jí)泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于該入口壓力，轉(zhuǎn)速會(huì)降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。
? 功率為80 W。
#空冷和水冷卻附件須單獨(dú)訂購(gòu)。
訂貨信息
貨號(hào) | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭 |
B72242000 | EXT75DX分子泵：DN63CF入口法蘭 |
B72243000 | EXT75DX分子泵：DN40NW入口法蘭 |
B72245000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭 |
B72246000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭（DN25NW前級(jí)泵接口） |
B72235000 | EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法蘭 |
B72237000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭 |
B72238000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭（DN25NW前級(jí)泵接口） |
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