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壓電平臺(tái)X60S / X120S沿X軸的行程可達(dá)110 μm，可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)。平臺(tái)沿X和Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)非常小。移動(dòng)外框可根據(jù)要求定制。
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