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            XY軸壓電平臺(tái)
            XY軸壓電平臺(tái)

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            面議

            型號(hào)

            品牌

            產(chǎn)地

            法國(guó)

            樣本

            暫無
            科藝儀器有限公司

            會(huì)員

            |

            第2年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            壓電平臺(tái)XY200M沿X和Y軸的行程為200 μm,**可承受3kg的負(fù)載。應(yīng)用領(lǐng)域包括原子力或掃描隧道顯微鏡和掩膜定位等等。這種平臺(tái)基于APA200M設(shè)計(jì),具有很高的硬度,可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)或渦流傳感器。平臺(tái)沿X,Y和Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)非常小。移動(dòng)外框可根據(jù)要求定制。緊湊型XY25XS平臺(tái)非常適合用于光纖定位,微掃描等應(yīng)用。

            參數(shù)

            單位

            XY25XS

            XY200M

            型號(hào)

            V-XYXS25

            V-XYM200

            備注

            -

            -

            傳感器

            SG

            SG,ECS

            主動(dòng)軸

            TX,TY

            TX,TY

            **空載位移[Tx,Ty]

            um

            25

            200

            Z方向**面外位移

            um

            0.50

            1.00

            Z方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)

            urad

            50

            240

            XY方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)

            urad

            10

            50

            電壓范圍

            V

            -20…150

            -20…150

            硬度

            N/um

            2.50

            0.59

            高度(Z 軸)

            mm

            18.0

            22.0

            尺寸(X&Y 軸)

            mm

            50*50

            100*100

            分辨率

            nm

            0.3

            2.0

            質(zhì)量

            g

            80

            180

            空載共振頻率(在致動(dòng)方向)

            Hz

            3000

            580

            響應(yīng)時(shí)間

            ms

            0.17

            0.86

            電容 (每個(gè)電氣接口)

            uF

            0.50

            6.30

            機(jī)械接口(有效負(fù)載)

            1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm

            3Ф2.7mm holes on

            Ⅱ38

            機(jī)械接口 (框架)

            4 Ф2.8mm holes on []45

            4 Ф4.5mm holes on []84

            電氣接口

            2 RG178B/U同軸電纜

            2 RG178B/U同軸電纜

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            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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