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Park NX20原子力顯微鏡簡(jiǎn)介:
NX20原子力顯微鏡是Park原子力顯微鏡公司功能*強(qiáng)大的大尺寸原子力顯微鏡,這是一款全自動(dòng)的原子力顯微鏡系統(tǒng),可容納樣品的**尺寸達(dá)300mm*300mm,掃描分辨率0.02nm,集成了Park公司**技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”,并標(biāo)配快速掃描模式,變速掃描模式,多種測(cè)量模式可選,NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體,LCD,LED,OLED,硬盤等工業(yè)領(lǐng)域。
NX20型原子力顯微鏡技術(shù)特色:
1)采用非接觸式工作模式:
Park公司是目前全球**一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家,在不影響測(cè)量精度的前提下,可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量,避免了由于針尖磨損帶來測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。
下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例,CrN樣品的硬度很高,具有三角形結(jié)構(gòu),采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后,圖像質(zhì)量幾乎無變化,針尖幾乎無磨損!??!
2)探測(cè)器噪聲水平為全球業(yè)界*低:0.02nm
Z軸探測(cè)器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park**的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲,它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測(cè)器,檢測(cè)原子臺(tái)階及其容易。
3)采用全球**性能平板掃描器:采用**技術(shù)得三軸分離的平板掃描器,在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差<1nm !!!!
4)操作極其簡(jiǎn)單:
- 具有“智能掃描模式”Smart scan:這是Park公司的**技術(shù)之一,用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍,系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值
- 具有中文,英文等多種操作界面
- 憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且,自上而下的同軸視角(行業(yè)****)讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上,您可以憑直覺旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕,將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣,您可以在激光準(zhǔn)直界面中,輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí),您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的**化,便可開始獲取數(shù)據(jù)。
5)具有全球*廣泛的原子力顯微鏡模式:
6)工業(yè)級(jí)別的XEA軟件:具有自動(dòng)識(shí)別,自動(dòng)掃描,自動(dòng)分析功能,大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費(fèi)的時(shí)間。
7)導(dǎo)電原子力顯微鏡:
Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場(chǎng)中競(jìng)爭(zhēng)力*強(qiáng),不但有著全行業(yè)*低的電流噪聲,且增益范圍也是**,并且可實(shí)現(xiàn)電流快速掃描功能,是半導(dǎo)體測(cè)試電流的標(biāo)準(zhǔn)。
- 業(yè)內(nèi)*低的電流噪聲(50fA)
- 業(yè)內(nèi)**的電流(10mA)
NX20型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):
- XY閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)100μm*100μm
- Z向閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)15μm
- 超高的測(cè)量分辨率:可達(dá)0.02nm
- 全自動(dòng)掃描范圍:200mm*200mm(300mm*300mm)
- 具有快速掃描功能:**達(dá)100Hz
暫無數(shù)據(jù)!