辛耘科技致力于高端清洗蝕刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn) 擁有強(qiáng)大的研發(fā)與軟件編寫(xiě)團(tuán)隊(duì) 實(shí)現(xiàn)完全自主的軟硬件售后服務(wù)和升級(jí) **程度地解決了客戶(hù)的后顧之優(yōu) 產(chǎn)品涵蓋2”~12”主流濕法工藝以及薄片、大功率器件、高溫制程、電鍍 、化鍍 、等特殊應(yīng)用、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、三五族、微機(jī)電、和LED領(lǐng)域
儀器簡(jiǎn)介:
- 2”~12” 手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)濕制程設(shè)備及干燥機(jī)
- 傳送技術(shù): Cassette type / Boat type / Cassette-less
- 領(lǐng)域 : 半導(dǎo)體前后段 / LED / 藍(lán)寶石/薄片/ GaAs / MEMS…
- 制程 : lean/Etching/PRStrip/Solvent/Developer/Reclaim/Plating /High-temp/De-wax/CDU
特點(diǎn):
- 高穩(wěn)定性與高可靠度
- 自有的軟硬件設(shè)計(jì)及完善QC系統(tǒng)
- 可提供客制化與量產(chǎn)設(shè)計(jì)
- 可靈活實(shí)現(xiàn) 手動(dòng) 半自動(dòng) 全自動(dòng)及干進(jìn)干出 功能
- 多種可選擇的晶圓傳遞方式(cassette /cassetteless /both type)
- 友好的人機(jī)操作界面
- 完整的全自動(dòng)生產(chǎn)(包括SMIF、晶圓傳遞、晶圓盒的自動(dòng)傳遞)
- 完善的客服系統(tǒng)
- **可提供cassetteless傳輸?shù)膌ocal廠(chǎng)家
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體/三五族/微機(jī)電:
- 4”-12” 相關(guān)清洗、顯影、蝕刻等制程
- LED :
- 藍(lán)寶石基板清洗工藝(切割、研磨、拋光段應(yīng)用、PSS圖形化襯底應(yīng)用)前后端工序中的清洗、顯影、蝕刻、去膠、高溫磷酸(側(cè)腐蝕工藝)、化鍍金工藝等濕法應(yīng)用