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高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗機(jī)，可對(duì)應(yīng)更多復(fù)雜工藝.

● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。

● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡(jiǎn)單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單。

■ 安全性·保護(hù)

● 標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測(cè)功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。

● 裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過(guò)電流漏電保護(hù)裝置。

● 發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問(wèn)題時(shí)，可自動(dòng)調(diào)低頻率來(lái)保護(hù)發(fā)生器。

● 門(mén)鎖開(kāi)關(guān)：門(mén)在未完全關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)電源。

● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開(kāi)或者未關(guān)好時(shí)，會(huì)停止電源。

● 緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。

● 當(dāng)裝置發(fā)生異常時(shí)，裝置本體發(fā)出警告信號(hào)的同時(shí)，進(jìn)行以下動(dòng)作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時(shí)間。（5）聲光報(bào)警

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對(duì)應(yīng)更復(fù)雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。

●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對(duì)機(jī)器以及樣品的損害。

●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。

■ 技術(shù)規(guī)格