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Excel 660系列全自動影像測量儀，適用于航空航太，PCB電路板，機(jī)加工，金屬薄片等行業(yè)，可與探針系統(tǒng)，鐳射系統(tǒng)，或旋轉(zhuǎn)夾頭結(jié)合，構(gòu)建復(fù)合傳感器量測系統(tǒng)。
| Excel 661HM/HC | Excel 662HM/HC | Excel 661 UM/UC | Excel 662UM/UC | Excel 664 UM/UC | |
| 量測行程(mm) | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x400 |
| 承載重量 | 100kg | ||||
| XY軸精度(μm) | 2.8+L/200 | 3.1+L/200 | 2.5+L/200 | 2.8+L/200 | 3.5+L/150 |
| Z軸精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 2.5+L/100 | 3.0+L/100 | 3.8+L/100 |
| 解析度 | 0.4μm | 0.1μm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
| 光學(xué)變焦 | 6.5x | 12x | |||
| 數(shù)位變焦 | 3x | ||||
| 綜合倍率 | 20x-370x/40x-740x | 15x-540x/30x-1080x | |||
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