Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 熱塑化

2、 紫外固化

3、 熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行

4、 熱固化

5、氣墊軟壓技術(shù)(ACP)

6、Nanonex**技術(shù)

7、 **的整片基板納米壓印均勻性

8、高通量

9、低于10nm分辨率

10、亞1微米對(duì)準(zhǔn)精度

11、快速工藝循環(huán)時(shí)間（小于60秒） 靈活性

12、4″， 6″， or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

13、方便用戶操作

14、基于超過(guò)12年、15代產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作，Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)大量實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定

15、全自動(dòng)納米壓印

規(guī)格參數(shù)：

1、熱塑壓印模塊

溫度范圍0～250oC

加熱速度>300oC/分鐘

制冷速度>150oC/分鐘

壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）

2、紫外固化模塊

200W窄帶紫外光源

365納米或395納米波長(zhǎng)可選

全自動(dòng)化控制

3、對(duì)準(zhǔn)模塊

<1μm 3σ對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)確率

X， Y， Z， Theta平臺(tái)

分場(chǎng)光學(xué)和CCD相機(jī)

4、模版裝載功能

4″/5″/6″模版可用于標(biāo)配納米壓印

5、系統(tǒng)

8”模板可升級(jí)

6、基板裝載

標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

6″和8″基板可選

各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基

7、板均可壓印

獨(dú)特**保護(hù)ACP技術(shù)可限

8、度保護(hù)基板和模板，特別對(duì)于象磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予限度保護(hù)。