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技術優(yōu)勢：

1、 清洗功率可調節(jié)：0 to 99 watts；

2、 操作壓力可調節(jié)：from 2 torr to 1 mTorr；

3、 清洗速度快；

4、 無需破真空進行清洗，實現(xiàn)原位清洗；

5、 即插即用設計方案，無需集成；

6、 采用從上到下清洗模式，降低對樣品的損傷

7、微量等離子激發(fā)，消除清洗和成像交換之間的圖像形成的遲滯現(xiàn)象；

8、擴展性好，可配用各類臺式電鏡、透射電鏡原位清洗以及樣品清洗使用