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WAFER AOI光學(xué)檢驗(yàn)系統(tǒng)
進(jìn)料的wafer，經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查，進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer，避免了污染和損傷wafer。
性能描述：
標(biāo)準(zhǔn)配備1個(gè)Load port，單臂翻轉(zhuǎn)Robot，Pre-aligner，目檢臺和顯微鏡。
兼容8寸和12寸wafer
標(biāo)準(zhǔn)load port可以對應(yīng)FOUP，AutoFOSB自動開蓋，具備mapping功能
高精度運(yùn)動機(jī)構(gòu)，低噪音，低塵，無需供油。
觸摸屏操作，界面友好。
對應(yīng)GEM300，采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)軟件
晶圓光學(xué)檢測機(jī)：
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